TEN-Systemでは、IoTやWebシステムによって
TSS(Total Solution Service)を全面的に支え、
的確かつ迅速なサービスを提供します。
PRODUCTS
製品紹介
IoT技術を活用してTSSを支えるTEN-SystemTOWA Engineering Network - System
2017年4月以降 順次機能追加予定
稼働中の半導体製造装置が故障により停止してしまうことにより、お客様の生産計画に影響を与えかねません。当社では、従来のお客様サポートやサービスにIoT(モノのインターネット)やM2M(Machine to Machine)の技術を活用した新たなサービスTSS(Total Solution Service)with TEN-Systemを提供しています。
ここでは、このTSS with TEN-Systemを支えるTEN-Systemについて説明します。TEN-Systemの機能は、大きく次の3つに分かれます。
- オンラインサポート
- パーツ供給サービス
- 予知保全(2018年提供開始予定)
※TEN-Systemは、TOWA株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。
装置カルテとウェアラブルデバイスで現場の状況をリアルタイムに把握し、より効率的にサポート
オンラインサポートでは、装置カルテとウェアラブルデバイスを導入しています。
装置カルテでは、登録している半導体装置の状態や発生したエラーが一覧表示されます。また、指定した期間内での稼働状況やエラーの発生状況も確認できるため、迅速かつ的確に故障や事故の原因を把握できます。
また、お客様にウェアラブルデバイスを装着していただくことで、当社のエンジニアが遠隔地から支援することができます。
このようなオンラインサポートによって、これまで以上の早期対応が可能になり、故障や事故による工数および経費を削減できます。
装置自体が故障の予兆を発見する予知保全と、グローバルなネットワークによるパーツ供給サービス
パーツ供給サービスでは、当社およびパートナー関係にある各販社の在庫状況をWebシステムによって常にグローバルに把握し、お客様が必要とする部品をより短時間で供給します。
予知保全では、振動計などの機器を半導体製造装置内に設置し、装置の状態をデータとして収集します。このデータを、半導体製造装置メーカーとして長年の実績がある当社のノウハウを元に分析します。分析した結果から故障の予兆を装置自体が発見し、アラームの発信とともにお客様と当社にメールで通知します。これにより、故障によって装置が異常停止する前に故障の原因を特定する事ができます。
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